国产光刻机股票龙头有：
蓝英装备：国产光刻机龙头。
9月28日，今年来涨幅上涨45.09%，涨7.16%，最新报18.120元/股。
全球领先的清洗系统和表面处理设备提供商，为ZEISS提供精密清洗设备，为ASML提供精密清洗解决方案。
蓝英装备近7个交易日，期间整体上涨0.44%，最高价为16元，最低价为19.28元，总成交量4.58亿手。2023年来上涨45.09%。
张江高科：国产光刻机龙头。
9月28日消息，张江高科最新报23.500元，涨0.86%。成交量1.6亿手，总市值为363.94亿元。
持有上海微电子（国内唯一从事高端光刻机研产销企业）9.0888%的股权。
回顾近7个交易日，张江高科有1天下跌。期间整体下跌0.89%，最高价为21.4元，最低价为24.78元，总成交量11.74亿手。
国产光刻机概念股其他的还有：
奥普光电：9月28日开盘消息，奥普光电最新报38.300元，涨5.39%。成交量1912.9万手，总市值为91.92亿元。
百川股份：9月28日消息，该股最新报7.150元涨1.85%，成交4794.91万元，换手率1.35%。
上海新阳：上海新阳（300236）涨1.7%，报36.390元，成交额1.36亿元，换手率1.35%，振幅涨1.71%。
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